快捷

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

莎拉波娃状态不稳 输给老冤家加西亚

在今年斯图加特，两位选手就曾有过一次交手，当时加西亚苦战三盘才艰难获胜，然而回到硬地后，莎拉波娃非但没能复仇成功，反而却收获了一场更一边倒的失利。至于失利的原因，恐怕熟悉她的人闭着眼也能猜到——糟糕而不稳定的发球，过多的非受迫性失误，最终导致整个战术体系全面瓦解。

全场比赛，莎拉波娃的每一个发球局都非常纠结，除了四次被破发之外，只有一个发球局是没有经历平分而保发成功的。如果你知道她的一发成功率只有40%，尤其是第二盘更是降到了36%，就不会对这个结果感到特别意外了。

对于这场失利，莎拉波娃说道：“我觉得她（加西亚）今天的表现十分出色，总是能够很连续地做出对的事情，她的回球非常深，总是可以打到线上，我并没有太多上手的机会，而且移动也总是慢半拍，而且在机会球上她的表现也非常出色。而她的发球也很好，这是我今天做的不够好的地方。”

确实，现在的莎拉波娃太仰仗自己的发球了，而这个环节又恰恰是她发挥起伏最大的地方。她的问题不在于无法打出一场出色的比赛，前两场尤其是上一轮对阵卡萨金娜的比赛就是明证，只要能拿出自己的应有的水准，她还是足以让任何人感到胆寒。然而问题就是在于，她现在无法连续在几场比赛里有足够稳定的发挥，太过于依靠状态的好坏来左右比赛的胜负，而并非依靠自己深厚的底蕴和硬实力。然而状态这种东西又恰恰是最捉摸不定的，等待状态的从天而降，显然无法支撑她在一项赛事中走得更远。

此前坊间有传言，莎拉波娃可能不会打满下一个完整的赛季，而从她本站比赛飘忽不定的表现来看，这一切绝非空穴来风。复出已经16个月了，她还远远未能达到自己和外界的期待，排名也是刚刚挤进了前三十，勉强锁定了一个大满贯种子席位而已，这对于心高气傲的莎娃来说，长此以往显然会是一种更痛苦的折磨。

所以，接下来的辛辛那提和美网的表现，可能对莎拉波娃的整个职业生涯都会尤为关键，她能把在蒙特利尔前两轮的表现再提升一个档次的话，也许接下来还有的打，如果还是这样好一场坏一场的表现，或许距离说再见真的不会太远。

莎拉波娃状态不稳 输给老冤家加西亚

在今年斯图加特，两位选手就曾有过一次交手，当时加西亚苦战三盘才艰难获胜，然而回到硬地后，莎拉波娃非但没能复仇成功，反而却收获了一场更一边倒的失利。至于失利的原因，恐怕熟悉她的人闭着眼也能猜到——糟糕而不稳定的发球，过多的非受迫性失误，最终导致整个战术体系全面瓦解。

全场比赛，莎拉波娃的每一个发球局都非常纠结，除了四次被破发之外，只有一个发球局是没有经历平分而保发成功的。如果你知道她的一发成功率只有40%，尤其是第二盘更是降到了36%，就不会对这个结果感到特别意外了。

对于这场失利，莎拉波娃说道：“我觉得她（加西亚）今天的表现十分出色，总是能够很连续地做出对的事情，她的回球非常深，总是可以打到线上，我并没有太多上手的机会，而且移动也总是慢半拍，而且在机会球上她的表现也非常出色。而她的发球也很好，这是我今天做的不够好的地方。”

确实，现在的莎拉波娃太仰仗自己的发球了，而这个环节又恰恰是她发挥起伏最大的地方。她的问题不在于无法打出一场出色的比赛，前两场尤其是上一轮对阵卡萨金娜的比赛就是明证，只要能拿出自己的应有的水准，她还是足以让任何人感到胆寒。然而问题就是在于，她现在无法连续在几场比赛里有足够稳定的发挥，太过于依靠状态的好坏来左右比赛的胜负，而并非依靠自己深厚的底蕴和硬实力。然而状态这种东西又恰恰是最捉摸不定的，等待状态的从天而降，显然无法支撑她在一项赛事中走得更远。

此前坊间有传言，莎拉波娃可能不会打满下一个完整的赛季，而从她本站比赛飘忽不定的表现来看，这一切绝非空穴来风。复出已经16个月了，她还远远未能达到自己和外界的期待，排名也是刚刚挤进了前三十，勉强锁定了一个大满贯种子席位而已，这对于心高气傲的莎娃来说，长此以往显然会是一种更痛苦的折磨。

所以，接下来的辛辛那提和美网的表现，可能对莎拉波娃的整个职业生涯都会尤为关键，她能把在蒙特利尔前两轮的表现再提升一个档次的话，也许接下来还有的打，如果还是这样好一场坏一场的表现，或许距离说再见真的不会太远。

　　水川麻美与洼田正孝于2017年合作日剧《我们做了》后开始交往，交往2年后于2019年结婚，两人婚后持续活跃演艺圈。电影圈人士透露，这次能拿下《幕府将军2》演出机会，两人都是凭借实力赢得角色。在拍摄现场，每位演员都准备了一台露营车作为休息室，可在车内用餐或小睡。此外，还为相关人员准备了足以应付长期逗留的宽敞住宿设施，在正宗好莱坞资金的支援下，整体拍摄环境已达到了最顶级的规模。

　　由于加拿大拍摄将持续10个月之久，水川麻美与洼田正孝已经退租东京月租65万日元的30坪豪宅，以极大的决心投入拍摄工作。这位电影圈人士爆料，水川麻美与洼田正孝这次演出的片酬高于日本行情价，夫妻加起来超越1亿日元。加上两人先后离开经纪公司，已经是独立门户的自由人，这次的片酬堪称是全额到手。

　　《幕府将军》第一季的成功为第二季奠定了坚实基础，新加入的演员阵容也为剧集增添了更多看点。水川麻美与洼田正孝作为日本演员进军好莱坞的重要代表，他们的加盟不仅体现了日本演员在国际舞台上的影响力，也为观众带来了更多期待。这对明星夫妻以斩断后路的决心远赴海外拼演艺事业，展现了他们对艺术的执着追求和职业精神。

　　   日本男星真田广之主演的美剧《幕府将军》第一季夺下艾美奖史上最多的18个奖项，目前该剧正在加拿大温哥华拍摄第二季，并加入了新的演员阵容，包括目黑莲、槚木孝明、国村隼，以及水川麻美与洼田正孝这对明星夫妻。这是这对明星夫妻结婚后首次共演同部剧集，据日媒《NEWS POST SEVEN》报道，水川麻美与洼田正孝各自参与试镜，在毫无偏袒的情况下赢得角色，夫妻两人的片酬加起来将近1亿日元。

　　水川麻美与洼田正孝于2017年合作日剧《我们做了》后开始交往，交往2年后于2019年结婚，两人婚后持续活跃演艺圈。电影圈人士透露，这次能拿下《幕府将军2》演出机会，两人都是凭借实力赢得角色。在拍摄现场，每位演员都准备了一台露营车作为休息室，可在车内用餐或小睡。此外，还为相关人员准备了足以应付长期逗留的宽敞住宿设施，在正宗好莱坞资金的支援下，整体拍摄环境已达到了最顶级的规模。

　　由于加拿大拍摄将持续10个月之久，水川麻美与洼田正孝已经退租东京月租65万日元的30坪豪宅，以极大的决心投入拍摄工作。这位电影圈人士爆料，水川麻美与洼田正孝这次演出的片酬高于日本行情价，夫妻加起来超越1亿日元。加上两人先后离开经纪公司，已经是独立门户的自由人，这次的片酬堪称是全额到手。

　　《幕府将军》第一季的成功为第二季奠定了坚实基础，新加入的演员阵容也为剧集增添了更多看点。水川麻美与洼田正孝作为日本演员进军好莱坞的重要代表，他们的加盟不仅体现了日本演员在国际舞台上的影响力，也为观众带来了更多期待。这对明星夫妻以斩断后路的决心远赴海外拼演艺事业，展现了他们对艺术的执着追求和职业精神。